外差信号处理原理 在双频激光外差干涉仪中，光学系统的改善很成熟，要想提高测量精度，对外差信号的处理成为了关键。从本质上讲，外差信号的处理方法分为频率解调和相位解调，频率解调法是将干涉仪测量镜运动产生
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