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复享光学AR-Meta首次实现超构透镜全面光学量测分析
近日，上海市科委“优秀技术带头人”计划的多个项目完成专家评审。该计划旨在选拔和培养一批进入世界科技前沿的学术带头人和引领产业技术创新的技术带头人，促进其建设高水平科研梯队和创新团队，加快建设具有全球影响力的科技创新中心。其中，由复享光学承担的“超透镜检测分析设备的研制”项目通过专家组评审，顺利结项。
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复享光学承担的上海市2022年度“科技创新行动计划” - 0909
本次复享光学承担的项目，属于“科学仪器研制开发”专题项目。该项目基于共焦拉曼光谱，发展面向GAA-FET制程检测的拉曼光谱技术，探索在GAA-FET制备过程中多层纳米薄膜的厚度、应力、界面起伏、横向刻蚀和沟道载流子迁移率等关键参数的量测技术，形成一套具有重大产业应用前景的专业高端拉曼光谱设备。
