1 引言与传统的驻极体电容式麦克风相比，电容式MEMS麦克风具有以下优势:1)性能稳定，温度系数低，受湿度和机械振动的影响小;2)成本低廉;3)体积小巧，电容式MEMS麦克风的背极板和振膜仅有最小的驻极体电容式麦克风的1
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