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半导体工艺（二）
半导体工艺上世纪末开始飞速发展，实际上由于集成电路的发明，集成电路工艺成为半导体工艺的主角。其发展轨迹也印证了摩尔定律，180nm、130nm、90nm、65nm、40nm、28nm、16nm等一路发展，将其称为技术节点，是ITRS(国际半导体技术发展蓝图)根据工艺技术的发展制定的，2010年开始提出“等效扩展”(而不是几何扩展)。
半导体工艺上世纪末开始飞速发展，实际上由于集成电路的发明，集成电路工艺成为半导体工艺的主角。其发展轨迹也印证了摩尔定律，180nm、130nm、90nm、65nm、40nm、28nm、16nm等一路发展，将其称为技术节点，是ITRS(国际半导体技术发展蓝图)根据工艺技术的发展制定的，2010年开始提出“等效扩展”(而不是几何扩展)。
