压力传感器是使用最为广泛的一种传感器。传统的压力传感器以机械结构型的器件为主,以弹性元件的形变指示压力,但这种结构尺寸大、质量轻,不能提供电学输出。随着半导体技术的发展,半导体压力传感器也应运而生。其特点是体积小、质量轻、准确度高、温度特性好。特别是随着MEMS技术的发展,半导体传感器向着微型化发展,而且其功耗小、可靠性高。
微型化、集成化和智能化,是现代科技发展的一个重要趋势。伴随着微机电加工系统(MEMS )技术的发展,电子计算机已由当年的“庞然大物“ 演变成由一个个微小的电路集成芯片组成的便携系统,甚至是一部微型的智能手机。