微纳加工技术

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  • MEMS陀螺仪在各领域都有哪些应用?案例分析

    MEMS陀螺仪是第三代陀螺仪的代表,MEMS随着微机械电子系统(MEMS)等学科的兴起,又基于科里奥利振动效应和微纳加工技术,MEMS陀螺仪开始出现。ER-MG2-50/100作为MEMS陀螺仪中的高精度陀螺仪,具有体积小、重量轻、环境适应性强、价格低廉、便于批量生产等特点,解决了第一代和第二代陀螺仪体积质量大、成本高的缺点,精度和稳定性不断提高。