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扩展电阻技术测试外延片外延厚度误差分析
扩展电阻技术(spreading resistance profile,SRP)由于其优越的空间分辨率越来越广泛地应用在外延片和IC 图形片测试中。SRP 技术既可以测量外延片纵向电阻变化，也可以测量外延层厚度、过渡区及夹层宽度等。四探针最小的测量体积约为5 ×10-8 cm3，而最新发展的扩展电阻
扩展电阻技术(spreading resistance profile,SRP)由于其优越的空间分辨率越来越广泛地应用在外延片和IC 图形片测试中。SRP 技术既可以测量外延片纵向电阻变化，也可以测量外延层厚度、过渡区及夹层宽度等。四探针最小的测量体积约为5 ×10-8 cm3，而最新发展的扩展电阻
