晶圆清洗

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韩企SK Materials量产氟化氢推进半导体材料国产化

6月18日消息，据国外媒体报道，韩国企业SK Materials日前表示，已启动用于半导体生产工序的氟化氢气体的量产，推进半导体材料国产化。韩企SK Materials 氟化氢被用于晶圆的清洗等方

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2020-07-07

半导体半导体材料晶圆氟化氢晶圆清洗