与会专家对项目取得的研发成果给予了充分肯定,指出开展极紫外光刻胶的研发具有战略眼光,经过项目组成员几年的努力,圆满地完成了研发任务,达到了项目任务书中规定的指标;建立了一支在高档光刻胶领域的研发队伍,为我国的半导体集成电路产业的稳定发展提供了人才支持。
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