气体质量流量控制器

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七星流量计金属密封MFC加“大流量”了

气体质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密测量和控制，大量应用于半导体领域。金属密封大流量气体质量流量控制器，在CVD、PVD、清洗机等设备上起着关键作用，但它的技术壁垒高、开发难度大，导致长期依赖进口。

北方华创
2021-04-20

气体质量流量控制器半导体