改良西门子法多晶硅生产的西门子工艺,其原理就是在1100℃左右的高纯硅芯上用高纯氢还原高纯三氯氢硅,生成多晶硅沉积在硅芯上。改良西门子工艺是在传统的西门子工艺的基础上,同时具备节能、降耗、回收利用生产过程中伴随产生的大量H2、HCI、SiCI4等副产物以及大量副产热能的配套工艺。世界上绝大部分厂家均采用改良西门子法生产多晶硅。
工业生产车间是产生氯化氢常见的地方之一。为防止氯化氢气体带来的危害,一是产生的氯化氢气体浓度会对人体健康产生影响,工业机器人是一种智能化、模块化产品,具有相关的独立系统,可自主进行定位、避障和工作。根据机器人自身系统还可配套工采网氯化氢传感器,实现对氯化氢气体的检测。