沉积设备

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国产12英寸氮化硅沉积设备进入中国IC制造龙头企业

北方华创宣布，2020年4月7日，北方华创THEORIS SN302D型12英寸氮化硅沉积设备搬入( Move in)国内集成电路制造龙头企业。该设备的交付，意味着国产立式LPCVD设备在先进集成电路制造领域的应用拓展上实现重大进展。

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2020-04-21

ic制造氮化硅沉积设备