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基于光学发射光谱法监测等离子体的光谱峰
海洋光谱仪基于光学发射光谱，助力半导体制程良率提升。
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Ocean Optics品牌再现江湖，海洋光学Ocean Insight正式宣布品牌重组
Ocean Insight将作为主品牌，并通过三个行业领先的子品牌Ocean Optics、Ocean Applied、International Light为客户提供光学传感解决方案，这一强劲的品牌组合将促使其具备更大的市场影响力。
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助力晶圆生产工艺改进，海洋光学参加2022中国半导体设备年会
“凝聚芯合力，发展芯设备”是这次大会的主题，产业升级是国家的大方向，中国半导体产业正在加速前进，海洋光学利用自己在光谱技术领域的多年积累，解决创新过程中遇到的问题，与产业伙伴合力推进创新发展。
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改进晶圆制造工艺，探索蚀刻终点的全光谱等离子监测解决方案
海洋光学与半导体行业领先的设备供应商合作，共同推进终点检测技术。
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助力提升芯片质量和产量，半导体工艺监测中的光谱应用
根据检测工艺所处的环节，IC集成电路检测被分为设计验证、前道量检测和后道检测。前道量测、检测均会用到光学技术和电子束技术，其中光学量测通过分析光的反射、衍射光谱间接进行测量，其优点是速度快、分辨率高、非破坏性。后道检测工艺是芯片生产线的“质检员”，根据工艺在封装环节的前后顺序，后道检测可以分为CP测试和FT测试。
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