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泛林集团的湿法清洗优化帮助芯片制造商提升设备性能
“湿法清洗”一词源自行业早期的预防性维护方式，即拆卸反应腔室并将石英部件浸入酸水冲洗，之后再晾干并重新组装。如今对于需要高精度维护的设备而言，其中唯一涉及“湿”的常用物质便是去离子水湿润过的无绒布，不过“湿法清洗”这个传统称谓却被沿用至今。所以，维护方式被称为“湿法”，但实际上却是“干法”。
“湿法清洗”一词源自行业早期的预防性维护方式，即拆卸反应腔室并将石英部件浸入酸水冲洗，之后再晾干并重新组装。如今对于需要高精度维护的设备而言，其中唯一涉及“湿”的常用物质便是去离子水湿润过的无绒布，不过“湿法清洗”这个传统称谓却被沿用至今。所以，维护方式被称为“湿法”，但实际上却是“干法”。
