电子束量测

关注1人关注

我要报错

应用材料公司推出革命性的针对FinFET晶体管和3D NAND器件的电子束量测设备

21ic讯全球领先的半导体、平板显示和太阳能光伏行业精密材料工程解决方案供应商应用材料公司，在加利福尼亚州圣何塞举行的国际光学工程学会(SPIE)先进光刻技术大会上，推出了业界首款在线3D扫描电子线宽量测系统，成

测试测量
2015-03-02

3d finfet nand 应用材料晶体管电子束量测