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东方晶源电子束检测项目荣登2022“科创中国”先导技术榜单
日前,2023“科创中国”年度会议上,中国科协正式发布了2022年“科创中国”系列榜单。经初评、终评,遴选公示多个环节,东方晶源申报的“电子束硅片图形缺陷检测与关键尺寸量测设备关键技术及应用”项目荣登“科创中国”先导技术榜。
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2022年“科创中国”系列榜单公布 东方晶源上榜
日前,2023“科创中国”年度会议上,中国科协正式发布了2022年“科创中国”系列榜单。经初评、终评,遴选公示多个环节,东方晶源申报的“电子束硅片图形缺陷检测与关键尺寸量测设备关键技术及应用”项目荣登“科创中国”先导技术榜。
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KLA推出全新突破性的电子束缺陷检测系统
加利福尼亚州，米尔皮塔斯市，2020年7月20日/-今天KLA公司宣布推出革命性的eSL10™电子束图案化晶圆缺陷检查系统。
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5nm工艺起飞 ASML宣布全新半导体技术：产能大涨600%
提到荷兰ASML公司，大家都知道他们是全球唯一的EUV光刻机供应商，7nm及以下的工艺生产都要靠他们的设备。不过ASML不只是光刻机厉害，今天他们宣布了另外一个新产品—;—;第一代HMI多光束检测机H
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ARM电子束焊机灯丝电源设计方案
传统的电子束焊机电源系统采用工频或中频技术，具有体积大、效率低、束流稳定性差等缺点。分析电子束焊机电源目前存在的缺点并结合现代电力电子技术，本文提出一种基于ARM的
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