缺陷检测系统

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KLA-Tencor发布VoyagerTM 1015和Surfscan® SP7缺陷检测系统：解决工艺和设备监控中的两个关键挑战

日前，KLA-Tencor公司宣布推出两款全新缺陷检测产品，在硅晶圆和芯片制造领域中针对先进技术节点的逻辑和内存元件，为设备和工艺监控解决两项关键挑战。

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2018-07-12

kla-tencor 晶圆缺陷检测系统光刻系统