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中国蚀刻机之父：限制进口部件将于明年实现100%国产！
国内半导体设备巨头中微公司的创始人尹志尧被誉为 “中国蚀刻机之父”，昨天他在电话会议中表示，中微半导体 80% 的限制进口零部件可在国内替代，明年下半年实现 100% 国产！
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中微半导体诉讼美国泛林公司非法获取商业机密获胜
据业内信息，昨天中微半导体设备(上海)股份有限公司宣布，在针对美国半导体设备大厂泛林集团(Lam Research Corporation)提起的侵犯商业秘密案中赢得二审胜诉。
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中微中标9台长江存储蚀刻机 国产闪存用上国产半导体装备
紫光旗下的长江存储在2019年9月份正式量产了国内首个64层堆栈的3D闪存，容量256Gb，TLC芯片，2020年长江存储还会进一步提升产能，年底将达到每月6万片晶圆的水平，是初期产能的10倍。 扩大
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中微半导体CEO尹志尧：国产5nm蚀刻机已获台积电认可
根据台积电的工艺路线图，2020年Q3季度就要试产5nm工艺了，这一代工艺会全面应用EUV光刻技术。除了光刻机之外，蚀刻机也是半导体工艺中不可缺少的一步，在这个领域中国半导体装备公司也取得了可喜的进步
