EUV光刻机是一项技术奇迹。 一台发生器每秒喷射出5万个微小的熔锡液滴，高功率激光对每个液滴进行两次爆破，第一次可以使锡成形，第二次是使锡蒸发成等离子体。 等离子体发出极紫外光辐射，这种辐射聚集成光束
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