在 第一部分 中本文综述了三轴高精度MEMS加速度计的内部结构。在 第二部分里面 ,我们回顾了如何获得一个良好的起始数据集,以建立基线性能,并验证在随后的数据分析中所期望的噪声水平。在本系列的最后一部分中,我们探讨了其他影响稳定性的因素,并提出了改进三轴高精度MEMS加速度计整体性能的机械系统设计建议。
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