功率器件作为半导体产业的重要组成部分,拥有非常广泛的技术分类以及应用场景。例如,传统的硅基二极管、IGBT和MOSFET等产品经过数十年的发展,占据了绝对领先的市场份额。不过,随着新能源汽车、数据中心、储能、手机快充等应用的兴起,拥有更高耐压等级、更高开关频率、更高性能的新型SiC、GaN等第三代半导体功率器件逐渐崭露头角,获得了业界的持续关注。
21ic讯—2015年7月13日消息,应用材料公司今天宣布推出全新的Olympia™原子层沉积(atomic layer deposition, ALD)系统。该系统采用独特的模块化架构,为先进3D内存和逻辑芯片制造商带来了高性能ALD技术。3