InFO工艺

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沈阳芯源公司“集成电路InFO工艺制程涂胶显影机研发与产业化项目”获评辽宁省科技进步一等奖

日前，辽宁省人民政府发布了关于2019年度辽宁省科学技术奖励的决定。沈阳芯源微电子设备股份有限公司提报的“集成电路InFO工艺制程涂胶显影机研发与产业化项目”被评为辽宁省科技进步一等奖。

芯源微
2021-04-19

集成电路 InFO工艺