在 第一部分 中本文综述了三轴高精度MEMS加速度计的内部结构。在 第二部分里面 ,我们回顾了如何获得一个良好的起始数据集,以建立基线性能,并验证在随后的数据分析中所期望的噪声水平。在本系列的最后一部分中,我们探讨了其他影响稳定性的因素,并提出了改进三轴高精度MEMS加速度计整体性能的机械系统设计建议。
中国,北京 – Analog Devices, Inc. (ADI)推出一款三轴MEMS加速度计,可用于广泛的医疗健康和工业应用,包括生命体征监测、听力辅助和运动计量等设备。ADXL367加速度计与上一代器件(ADXL362)相比,功耗改善了两倍,同时噪声性能提高了30%以上。新款加速度计还提供更长的现场使用时间,最大限度地延长了电池寿命,并降低了维护频率和成本。
为增进大家对MEMS的了解,本文将对典型的MEMS工艺流程以及MEMS加速度计的运用前景予以阐述。
引言 MEMS1 (微机电系统)利用专为半导体集成电路所开发的制造工艺设施实现生产制造。微机电结构的实现方法是通过在半导体基片上刻蚀特定的图形,来实现传感器单元或者可以移动零点几微米的机械执
对MEMS加速度计的调查发现,目前一个产品不能同时提供最低噪声和最低功耗。
Analog Devices, Inc.推出两款专门针对工业条件监测应用而设计的高频率、低噪声MEMS加速度计ADXL1001和ADXL1002。
为应用选择最合适的加速度计可能并不容易,因为来自不同制造商的数据手册可能大相径庭,让人难以确定最为重要的技术指标是什么。在本文第二部分,我们将从可穿戴设备、状态监控和物联网应用的角度重点讨论各项关键技术指标和特性。
Analog Devices, Inc. (ADI)近日宣布,广受用户欢迎的低噪声、低漂移、低功耗三轴MEMS加速度计系列新增ADXL356和ADXL357两款器件。新款加速度计可实现高频低噪声性能,提供高分辨率振动测量,可在状态监控应用中尽早检测出机器故障。
Analog Devices, Inc. (ADI),全球领先的高性能信号处理技术解决方案供应商,最近推出两款专门针对工业条件监测应用而设计的高频率、低噪声MEMS加速度计ADXL1001和ADXL1002。利用这些MEMS加速度计可实现高分辨率振