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美国伦斯勒理工学院开发新式液体镜头有可能帮助改进浸没式光刻设备

美国伦斯勒理工学院最近开发出一种新式液体镜头，能通过超小型的微流体活塞、以电气方式调整焦距，不须外加零件。此前，液体镜头已经被应用在浸没式光刻设备，用以提升光刻分辨率，使得目前的CMOS工艺得以继续向90纳

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2011-01-19

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