SiC产业化,多项第三代半导体标准通过评审
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6月27日,中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟(以下简称“宽禁带联盟”)第三批团体标准初审稿评审会举行,对6项团体标准初审稿进行评审。
据宽禁带半导体技术创新联盟消息,与会专家一致同意以下6项团体标准初审稿通过初审评定:
(1)《碳化硅单晶抛光片表面质量自动检测方法》(牵头单位:北京天科合达半导体股份有限公司)
(2)《碳化硅单晶片表面质量和微管密度的测试方法》(牵头单位:中国电子科技集团公司第四十六研究所)
(3)《半绝缘SiC电阻率非接触测量方法》(牵头单位:中国电子科技集团公司第二研究所)
(4)《半导体单晶残余应力检测方法》(牵头单位:北京聚睿众邦科技有限公司)
(5)《导电碳化硅单晶片电阻率测试方法》(牵头单位:中科钢研节能科技有限公司)
(6)《功率半导体器件稳态湿热高压偏置测试方法》(牵头单位:中国科学院电工研究所)