CSR传来捷报 台积电:全12吋厂铜离子排放浓度提前达标
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台积电发布9月份企业社会责任(CSR)电子报,其中,全部12吋厂铜离子排放浓度提前达标,台积电表示,这是继完成高浓度含铜废液再制铜棒后的另一大创举。
台积电积极实践绿色制造,去年起评估、测试“废水浓缩再生高浓度铜再电镀”系统建置,希望借由树脂与再生浓度选用与调配测试,透过阳离子树脂塔吸附低浓度铜离子,再用强酸提浓后,以电镀方式将铜离子再制为铜棒。台积电预期,待系统建置完成,可望100%取代既有的放流处理流程,实现零含铜废液排放、资源利用再生愿景。
目前,台积电以“源头分流、中间处理、次产物价值提升”铜离子减废减污3部曲,持续优化处理效率、削减废液排放浓度,并将废弃物成功浓缩制成高价值产物。今年9月,全部12吋晶圆厂已提前达成削减排放浓度小于0.1ppm的年度目标(饮用水铜离子标准为1ppm)。
此外,台积电还透露,为找出处理铜废液的最适加药量,公司全面溯源检讨原物料使用与排放情形,历经多次加药测试、评估及分析判别结果,找出不同浓度的最适加药量,并依此研究结果,在12吋晶圆厂厂区全面实施低浓度含铜废液(< 2ppm)分流处理系统,目前已有效提升20-30%单位药量铜离子捕捉效能,同时削减化学品添加量、减少化混副产物、避免铜溶出的二次污染。
除强化低浓度废液回收效益,今年台积电也针对一般浓度的含铜废液进行高压逆渗透处理流程,并进一步将处理后的废水重新导回废水处理系统进行再处理,成功降低放流水铜浓度至0.06ppm,改善幅度达14%;同时,回流处理的含铜废水,亦可利用混凝沉降形成污泥,再制为基底建材。