中标9台长江存储蚀刻机 中微半导体给国产闪存助力

紫光旗下的长江存储在2019年9月份正式量产了国内首个64层堆栈的3D闪存，容量256Gb，TLC芯片，2020年长江存储还会进一步提升产能，年底将达到每月6万片晶圆的水平，是初期产能的10倍。

产能的扩充将需要更多的设备，这就包括了国产设备。1月2日，上海中微半导体宣布中标了9台蚀刻机，而2019全年他们中标的也不过13台。

此前，中微半导体的5nm蚀刻机也已经打入台积电的供应链。中微半导体设备公司董事长兼首席执行官尹志尧博士就指出，中微半导体正在跟随台积电按照摩尔定律的发展走，后者的3nm工艺已经研发一年多了，预计2021年初就要试产。而中微半导体也在跟着这个路线走，目前已经做到了5nm。