MEMS传感器标准近在眼前？

2013年MEMS传感器市场需求十分旺盛，除了传统的消费电子和汽车市场的应用，在医疗、通信、工业、乃至军工方面的需求也不断拓宽。根据权威机构预测，在未来五年内，MEMS将以每年20%增长。

由于MEMS没有已经成熟的标准化工艺，当前许多产线往往只能做到一个产品一种工艺，小批量、高成本，这显然无法满足逐渐爆发的MEMS市场需求。于是，关于MEMS工艺的标准化的话题也逐渐升温。

从MEMS整体生态系统来看，标准化是一个复杂的、充满挑战性和争议性的话题。

MEMS市场需求的多样化特点决定了加工的多样化，加工特点又决定了很难用一套标准的工艺来满足所有需求。标准化可能让一些厂商原有的专利变得分文不值，不得不按照业内标准进行改造，对于技术创新也会形成限制和约束。

然而，标准化可以帮助设计师、制造商、晶圆厂、铸造厂等利用他人的进步技术，避免重复设计。从大方向来看，标准化仍然是大趋势。而如何平衡标准化与差异化，逐渐地、分层级地实现标准化，避免产品的千篇一律是一大考验。

今年5月2日，MEMS产业集团(MIG)就联合英特尔、高通等众多一线半导体厂商发布了最终规范版的《标准化传感器性能参数规格(Standardized Sensor Performance Parameter Definitions)》(以下简称“SPD”)，提供定义传感器性能参数的标准方法，以简化系统集成的工作量并加快产品上市速度。

规范明确规定传感器性能技术术语、单位、条件和极限的统一框架，是一种 ‘动态文件’;可随着新的传感器在移动平台架构中的使用进行补充和修订;适用于传感器供应商、独立软件开发商、平台供应商和原始设备制造商;并且涵盖了加速度传感器、磁力计、陀螺仪/回转仪、气压计/压力传感器、湿度计/湿度传感器、温度传感器、环境光度传感器(ALS) 、接近传感器等各种MEMS传感器。

MIG的“标准化传感器性能参数规格”中对光强度与转换时间(Conversion times versus light intensity)的“低”、“正常”与“高”标准定义

我们注意到该规范只是对传感器的一些基本规格进行了规范和定义，与此同时保留了产品的差异化和创新性，这也是充分尊重厂商创新性的表现。通过采用统一的参数规范，对于加快产品上市速度、减轻平台/系统确认的工作量，以及简化器件供应流程具有重要意义。

MIG及其成员企业正力促SPD的使用，许多器件制造商也已同意在今后的所有器件中使用SPD规定的技术规范，可以说这具有重要的历史意义。

随着市场的发展，这一规范也有望成为行业中的通行标准，由于具备大量优点，中国MEMS市场也将从中受益。然而到目前为止，这一事件并没有在国内业界产生多大波澜，这主要还是由于SPD还是一个参数规格的标准，并没有涉及具体产品的实际性能指标。而为了获得更多标准制定过程中的话语权，我国的MEMS产业协会也应积极与MIG建立联系。

总体而言，当前MEMS产业仍然处于一个学习的曲线过程，笔者认为，目前来看，要推动MEMS制程技术的标准化仍需要好几年的时间，如果要达到半导体产业所采用的CMOS技术一样大规模标准化的水平，则需要更长的时间。