ADI揭示MEMS传感器集成趋势

据IHS iSuppli公司预测，我国2011年MEMS消费增长约10%，销售额将达到16亿美元。到2015年，中国MEMS销售额将达到26亿美元，2010-2015年复合年度增长率为12.1%，如下图所示。

图：预计2011年中国MEMS销售额将达到16亿美元，2010-2015年复合年度增长率为12.1%

未来几年，中国市场上增长最快的MEMS领域将是手机与消费市场的麦克风、加速计和陀螺仪。增长第二快的领域将是汽车与工业MEMS市场，预计2011-2015年复合年度增长率分别为14%和12%。

ADI近日针对工业和医疗等市场推出了第三代iSensor® MEMS IMU（惯性测量单元）ADIS16488，这是一款战术级10自由度(DoF)传感器 ，在单封装中集成一个三轴陀螺仪、一个三轴加速度计、一个三轴磁力计和一个压力传感器。

据ADI微机械产品线高级应用工程师赵延辉介绍，ADIS16488提供最稳定、最完整的集成传感器套件，支持高性能导航和平台稳定控制应用的严格要求。除了重要的战术级（低于10°/小时）零偏稳定度以外，在重力加速度效应、温度系数和带宽等一般更重要的特性方面，ADIS16488同样超过所有其它同类陀螺仪/IMU产品，改善最多可达100倍。此外，在对线性加速度和振动加速度抑制方面，新款 iSensor MEMS IMU甚至超过传统军用级 IMU。每个器件均要经过独特而全面的工厂校准，能够在最恶劣的环境下提供无与伦比的精度；相对于典型的运动传感器开发，设计的复杂度、时间、成本和风险大大降低。

ADIS16488的推出揭示了MEMS传感器的几大集成趋势。赵延辉表示，首先，在多轴方案层面，现在已经可以看到针对不同应用需求提供的单轴、两轴和三轴器件，使用者可以更灵活的选择MEMS传感器。

其次，MEMS领域中已经出现了融合趋势，以ADIS16488为例，该器件同时使用了加速计、陀螺仪和磁力计和压力传感器。

据IHS iSuppli公司预测，明年9轴组合中使用的运动传感器的销售额将达到8.5097亿美元，比2011年底预计达到的5.5001亿美元大增55%，而到2015年有望增长到13.5亿美元左右，如下图所示。

图：9轴运动传感器的销售额2015年有望增长到13.5亿美元

此外，将处理能力集成也是MEMS传感器的一个发展方向。目前已经有厂商陆续推出集成处理能力的MEMS方案，除了ADI新推出的ADIS16488，Freescale的解决方案也将低功耗MCU与加速计组合在同一个封装之中。