陕西光电子先导院携“新质生产力”成果亮相慕尼黑上海光博会

2024年慕尼黑上海光博会于3月20-22日举行，陕西光电子先导院科技有限公司携VCSEL单孔晶圆、VCSEL阵列晶圆、砷化镓（GaAs）IPD晶圆、氮化镓（GaN）HEMT晶圆4项成果亮相，展位上的各项产品吸引了众多参观者驻足、交流。

据光电子先导院技术人员介绍，“公司研发技术团队仅用了6个月的开发周期，就完成了VCSEL单孔晶圆、VCSEL阵列晶圆2款产品的全流程工艺开发，通过了1000H的高温高湿、高温带电、冷热冲击等可靠性测试，并发布了PDK（Process Design Kit，工艺设计套件）。这意味着公司已经具备了相应的工艺代工能力。”

此外，“基于常开型 GaN HEMT 技术，公司研发技术团队还完成了器件不同技术路线工艺流程的开发；针对GaAs无源器件模型，开发了无源器件成套工艺，完成薄膜电阻、平板电容、螺旋电感等器件的建模。公司已经具备GaN HEMT 、GaAs无源器件共性基础工艺能力，正在进一步优化器件性能，可同步对接研发流片需求”，光电子先导院技术人员说。

据悉，本届光博会，来自海内外的1200家光电行业的领军企业齐聚于此，共同探索光电行业的未来发展方向，聚焦新技术、新趋势，成为诠释“新质生产力”的风向标。

“光子行业的发展，将推动信息技术和新型工业化质的飞跃，是新质生产力的典型代表。”陕西光电子先导院总经理杨军红认为，随着人工智能、航空航天、智能制造、新能源、生命科学的蓬勃发展，光子产业的发展也逐渐进入快速增长期。

陕西光电子先导院成立于2015年，配备有超百人的完整工艺技术团队，拥有先进的化合物芯片关键设备100余台（套）和千级、万级、十万级洁净厂房8000㎡（研发平台5000㎡，中试平台3000㎡），是集研发及中试服务为一体的光电芯片领域专业服务平台。

作为陕西省光子产业链“链主”企业，陕西光电子先导院以“畅链”和“延链”进行带动，目前陕西全省光子产业企业已发展到300余家、产值300余亿元，形成了光子领域全国创新版图中的“陕西生产力”。

杨军红表示，“光电子先导院一直把为光子企业提供研发、中试、测试、工程化服务作为核心价值，先进光子器件工程创新平台为更多项目提供‘化合物+硅光芯片’全流程服务，吸引更多的光电子芯片创新主体融通汇集、聚链成群。”

为了拓展工程平台“1+N”的服务模式，除了VCSEL主平台工艺的开发外，陕西光电子先导院在2023年还同步进行砷化镓IPD无源器件和GaN HEMT共性基础工艺平台开发。截至2023年末，已完成了基础工艺的开发，并经过多轮流片验证，工艺过程参数均符合指标要求，工艺过程可控。

为进一步培育光子产业竞争新优势，陕西光电子先导院将持续追加投资，对现有平台进行升级。一方面，拟对现有化合物光子器件中试平台进行升级扩能，新增高可靠车规级激光器芯片工艺设备；另一方面拟新建先进硅光集成技术创新平台，新增硅光工艺设备，开发先进硅光集成芯片工艺技术，具备硅光工艺研发、中试能力。

据介绍，扩能升级完成后，光电子先导院将实现“化合物+硅光芯片”全流程的研发、试验、中试能力，有效助力解决光子领域长期存在的科研和市场“两张皮”“大科技小产业”等问题。也将有效助力消除科技创新中的“孤岛现象”，使光子产业创新成果更快转化为现实生产力，推动实体经济发展。

截至2023年末，光电子先导院先进光子器件工程创新平台已攻克30多项核心工艺开发；完成了以VCSEL为代表的工艺平台建设，并完成了多款产品的PDK发布。平台已经具备为光电子产业各类创新主体提供研发、中试、检测、工程化等全流程技术服务，将加速企业产品创新，有效推动光子产业持续创新发展。