支持28nm以下工艺,国产450mm半导体级单晶硅棒研制成功
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在近日举行的Semicon China 2020上,新美光(苏州)半导体科技有限公司发布了450mm(18英寸) 11个9纯度的半导体级单晶硅棒,也就是纯度高达99.999999999%。据新美光CEO夏秋良介绍,450mm半导体单晶硅棒采用国际最先进MCZ技术,代表国际先进水平,改变国内无自主450mm半导体级单晶硅棒的局面,将在28nm以下晶圆厂实现国产替代,在半导体晶圆厂自主化方面,发挥重要作用。
作为国内领先的专业半导体硅片供应商,苏州新美光(SICREAT)纳米科技有限公司成立于2013年2月,坐落于美丽的苏州工业园区。依托中科院苏州纳米所和中科院产业创新与育成中心,成功开发了一系列半导体硅晶圆(硅片)加工工艺和技术。
据官网信息,新美光致力于为客户提供全面的解决方案,从调试级硅片(Dummy Wafer),测试级硅片(Test Wafer),到产品级硅片(Prime Wafer),以及特殊硅片氧化硅片、氮化硅片、镀铝硅片、镀铜硅片、Spacer Wafer、SOI Wafer、超平硅片、MEMS Glass、定制硅片等,尺寸覆盖100mm-300mm,并可提供300mm半导体硅片单面/双面抛光、减薄、激光切割等加工服务。公司拥有国内一流之300mm半导体硅片之工艺整合制程,提供一揽子的硅片全面解决方案,包括具有业界最前瞻的450mm(18英寸)硅片。
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