SemiLAB发力半导体市场,利用IR设备精确测量存储器结构
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据韩ý报道,得益于最新红外(IR)测量设备商业化的推动,韩国设备厂商SemiLAB Korea正加快脚步进军半导体市场。SemiLAB是全球第四大半导体测试解决方案供应商,提供灵活的测试解决方案用于半导体材料、工艺监控,测试设备被广泛应用于光伏、半导体、科研以及平板测试领域。
SemiLAB Korea发明了一种利用红外测量设备精确测量DRAM和NAND Flash结构的方法,可以在生产DRAM前,监测用作绝缘膜的BPSG(硼磷硅酸盐玻璃)和NAND Flash的蚀刻工艺。SemiLAB Korea首席执行官Park Soo Yong强调,由于红外光线具有更长的波长,可以观测到更复杂的薄膜结构。
与此同时,SemiLAB Korea还计划增加标准化设备的供应,除了半导体行业,还包括太阳能电池和显示器市场。计划通过不断提供利用光学和电学特性的测量设备来建立可靠性的策略。
SemiLAB Korea已将今年的销售目标提高至200亿韩元(去年为140亿韩元),明年为260亿韩元。