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基于FR4的电磁式扫描光栅微镜结构优化设计
扫描光栅微镜的转动结构通常设计成扭振系统 ,通过扭转梁实现微镜转动时的结构抗扭 。将扭转梁设计成折叠形式 ,可以减小扭转梁的抗扭刚度 ,但扭转振型仍有可能未成为系统的一阶主振型。因此 ,通过提高系统镜板的转动惯量和设置刚度调节棒 , 改进系统的振型模态分布 。最后 ,对优化后结构进行了理论计算和基于ANSYS的有限元软件仿真 , 结果均表明优化后结构能有效改善微镜的扭转谐振特征。
扫描光栅微镜的转动结构通常设计成扭振系统 ,通过扭转梁实现微镜转动时的结构抗扭 。将扭转梁设计成折叠形式 ,可以减小扭转梁的抗扭刚度 ,但扭转振型仍有可能未成为系统的一阶主振型。因此 ,通过提高系统镜板的转动惯量和设置刚度调节棒 , 改进系统的振型模态分布 。最后 ,对优化后结构进行了理论计算和基于ANSYS的有限元软件仿真 , 结果均表明优化后结构能有效改善微镜的扭转谐振特征。
