中国半导体设备、材料、技术等多个方面,仍被海外“卡脖子”。好在,我国在刻蚀机领域已经实现突破,据IC Insights数据显示,我国刻蚀设备的国产化率在20%以上,是我国最具优势的半导体设备。
根据北京燕东微电子公司副总经理李剑峰称,8 英寸项目今年 1 季度就可以实现量产,会先经历一个爬坡过程,1 万片、2 万片。计划是基本到明年年底做到 4 万片的产能,预计将
近来有网络媒体称,“中微半导体自主研制的5纳米等离子体刻蚀机,性能优良,将用于全球首条5纳米芯片制程生产线”,并评论说“中国芯片生产技术终于突破欧美封锁,第一次占领世界制高点”“中国弯道超车”等等。
中微公司的刻蚀机的确水平一流,但夸大阐述其战略意义,则被相关专家反对。刻蚀只是芯片制造多个环节之一。刻蚀机也不是对华禁售的设备,在这个意义上不算“卡脖子”。
最近,中微半导体设备(上海)有限公司收到一个好消息:其自主研制的5纳米等离子体刻蚀机经台积电验证,性能优良,将用于全球首条5纳米制程生产线。刻蚀机是芯片制造的关键装备之一,中微突破了“卡脖子”技术,让“上海制造”跻身刻蚀机国际第一梯队。