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外圆车抛一体装置及仓内粉尘压力密度监控系统研究
摘要:传统的靶材加工需要使用车床和抛光机,加工效率不高,而靶材生产剩余粉尘遗留喷涂仓中,会对喷涂质量产生很大的影响,只采用负压方式吸尘无法满足仓内压力要求,需要研发新型的靶材加工装置和密度监控系统。外圆车抛一体装置抛光机构将抛光机构整合到普通车床上,采用公用床身和导轨系统,前方设置有靶管,靶管的前方设有车削机构,可满足不同粗细的靶管抛光需要。BP-PID控制器可输入实时压力值、粉尘密度值等参数,采用BP神经网络对参数进行处理,输出频率控制值与风门开度进行干扰补偿,可优化喷涂仓压力,具有很高的实用价值。
