电容式传感器也常常被人们称为电容式物位计,电容式物位计的电容检测元件是根据圆筒形电容器原理进行工作的,电容器由两个绝缘的同轴圆柱极板内电极和外电极组成,在两筒之间充以介电常数为ε的电解质时,两圆筒间的电容量为式中L为两筒相互重合部分的长度;D为外筒电极的直径;d为内筒电极的直径;e为中间介质的电介常数。
70年代末以来,随着集成电路技术的发展,出现了与微型测量仪表封装在一起的电容式传感器。这种新型的传感器能使分布电容的影响大为减小,使其固有的缺点得到克服。电容式传感器是一种用途极广,很有发展潜力的传感器。典型的电容式传感器由上下电极、绝缘体和衬底构成。当薄膜受压力作用时,薄膜会发生一定的变形,因此,上下电极之间的距离发生一定的变化,从而使电容发生变化。但电容式压力传感器的电容与上下电极之间的距离的关系是非线性关系,因此,要用具有补偿功能的测量电路对输出电容进行非线性补偿。
电容式传感器是指把被测的非电量如位移、压力等转换为电容量变化的传感器,它本身就是一种可变电容器。电容式传感器结构简单、分辨力高、可非接触测量并能在高温、辐射和强烈震动等恶劣条件下工作。重要的部分就是具有可变参数的电容器。其常用的形式是由两个平行电极组成、极间以空气为介质的电容器。由于这种传感器具有结构简单,体积小,动态响应好,灵敏度高,分辨率高,能实现非接触测量等特点,因而被广泛应用于位移、加速度、振动、压力、压差、液位、等分含量等检测领域。
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摘 要:针对电容式传感器的微变电容检测困难的问题,提出了一种数字化的通用检测接口方案。分析了基于“激励-检测”的直接式微变电容测量原理,利用DDS发生载波,
摘 要:针对电容式传感器的微变电容检测困难的问题,提出了一种数字化的通用检测接口方案。分析了基于“激励-检测”的直接式微变电容测量原理,利用DDS发生载波,并采用离散傅里叶变换分离测量结果的幅值与
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0引言 电容式传感器是将被测的非电量变化转换为电容量变化的一类传感器,由于它具有灵敏度高、功耗低、温度漂移小等优点,因此广泛应用在压力、湿度、温度和加速度等测量中。MEMS(微电子机械系统)传感器体积小的
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