-
Entegris新一代光罩盒通过ASML认证 可用于EUV技术生产制程上
微电子产业特种化学品和材料解决方案厂商英特格 (Entegris) 宣布，新一代的光罩盒已获得半导体生产设备商艾司摩尔 (ASML) 的认证，可用于极紫外光 (EUV) 微影技术的芯片大量生产上，用以保护在制造过程中光罩的完整。
微电子产业特种化学品和材料解决方案厂商英特格 (Entegris) 宣布，新一代的光罩盒已获得半导体生产设备商艾司摩尔 (ASML) 的认证，可用于极紫外光 (EUV) 微影技术的芯片大量生产上，用以保护在制造过程中光罩的完整。
