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单电容式及差分电容式MEMS传感器检测系统
传感器技术是信息社会的四大支柱之一，传感器和计算机结合形成的智能系统大大的拓展了人类生活的空间。在传感器家族中，根据电容的物理特性制作的传感器占有重要地位。电容传感器是很好的状态传感器，可提高电容检测，尤其是微小电容检测的精度，是目前测控技术的热点。本文重点介绍一套微小电容差分高精度检测电路，该套电路可测物体的运动加速度，加速度计的分辨率可达2-18。
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飞思卡尔建成先进的200-mm MEMS生产线
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飞思卡尔加速计在更小的封装内提供先进的动作传感
三轴加速传感器具有功耗低的特点，具备自由降落保护的零重力检测和自我测试功能 微机电系统（MEMS）传感器设备设计制造领域全球领先的飞思卡尔半导体目前正通过引入高敏感度的XYZ三轴加速计，满足当今智能移动设备领
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MEMS传感器集成度提高消费电子成最大应用
如果说微机电系统(MEMS)曾经高昂的成本和价格阻碍了这项技术在消费类电子产品中的应用，那么一系列封装革新已经改变了这一历史。在不久前于上海举行的第七届电子封装技术国际学术会议(ICEPT2006)上，意法半导体(ST)M
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日本模拟器件09年前后推出6轴MEMS传感器
模拟器件(日本)2006年9月26日在东京举行新闻发布会，公布了车载MEMS传感器的投产规划。 该公司目前的产品线还停留在2轴加速度传感器和1轴角速度传感器，但计划2009～2010年前后投产融合3轴加速度传感器和3轴角速度
