MEMS

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微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量级,是一个独立的智能系统。微机电系统是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。微机电系统是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。MEMS是一项革命性的新技术,广泛应用于高新技术产业,是一项关系到国家的科技发展、经济繁荣和国防安全的关键技术。MEMS侧重于超精密机械加工,涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域。它的学科面涵盖微尺度下的力、电、光、磁、声、表面等物理、化学、机械学的各分支。常
  • 利用MEMS高带宽音频加速度计获得更好的声学性能

    MEM麦克风是一种小型的、具有高灵敏度的高信噪比,具有较高的声过载点。尽管这些麦克风很好,但通过专用的加速度计能够通过固体材料捕捉不到2KKZ的低频振动,可以进一步提高音频质量。

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    为增进大家对MEMS微惯性导航的认识,本文将对MEMS微惯性导航的发展历史、MEMS微惯性导航的分类予以介绍。

  • MEMS惯性导航的原理是什么?MEMS惯性导航未来发展如何?

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  • MEMS惯性导航有哪些应用?这些MEMS惯性导航应用你都知道吗?

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  • mems压力传感器原理

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    时间来到2023年,ST在中国召开了其首届传感器大会,支持本地端的AI计算的智能传感器成为了本次大会的焦点。在开幕演讲上,意法半导体副总裁·中国区总经理曹志平表示,我们的生活经历了从off-line到on-line的变革,以及从on-line到on-life发展,目前迈入Sustainable Onlife阶段,具备AI能力的传感器将会是构建永久在线的、虚拟交融的可持续生活的关键。

  • 传感器全面拥抱AI,让推理部署到更边缘侧

    近日,第11届EEVIA年度中国硬科技媒体论坛暨产业链研创趋势展望研讨会在深圳召开,Bosch Sensortec GmbH 高级现场应用工程师皇甫杰在会上发布了主题为“嵌入式AI与MEMS传感器塑造未来, 开启全新视野”的演讲。

  • MEMS压力传感器是什么?它的工作的原理是什么?

    MEMS是英文Micro Electro Mechanical systems的缩写,即微电子机械系统。微电子机械系统(MEMS)技术是建立在微米/纳米技术(micro/nanotechnology)基础上的21世纪前沿技术,是指对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术。它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元的微型系统。这种微电子机械系统不仅能够采集、处理与发送信息或指令,还能够按照所获取的信息自主地或根据外部的指令采取行动。

  • 三轴陀螺仪是什么?有什么用?

    陀螺仪英文名Gyroscope,是一种用来传感和维持方向的装置设备。陀螺仪是由一个位于轴心且可旋转的轮子构成。 陀螺仪一旦开始旋转,由于轮子的角动量,陀螺仪有抗拒方向改变的趋向。陀螺仪可分为单轴陀螺仪和三轴陀螺仪,单轴陀螺仪只能测量一个方,系统测试三维空间就需要三个。而三轴陀螺仪就可以同时测量6个方向。三轴陀螺仪多用于航海、航天等导航、定位系统,它能够精确地确定运动物体的方位。如今也多用于智能手机当中。

  • MEMS的常见应用有哪些?

    MEMS传感器是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展,已成为世界瞩目的重大科技领域之一。除了智能手机,MEMS传感器将会在 AR/VR、可穿戴等消费电子,智能驾驶、智能工厂、智慧物流、 智能家居、环境监测、智慧医疗等物联网领域广泛应用。

  • MEMS传感器在医疗领域主要体现出有哪些应用?

    医学的产生是伴随着“传感器”的运用应运而生,中医起源的“望、闻、问、切”疗法,就是人类自身传感触觉、听觉、视觉的运用,而西方医学中各类科学仪器,很多也是利用各种传感器延伸了医生的感官。从传统的听筒、小锤到CT、B超,再到临床手术治疗,以及近两年因为新冠疫情而时下火热的制氧机、呼吸机等,传感器都作为关键的元器件参与其中并发挥着重要作用,可以说医疗器械的发展历程也是一部传感器技术的进步史。

  • MEMS传感器的发展现状如何?未来的新趋势是什么?

    万物互联,物联网是关键。作为物联网感知层的基础和核心,传感器尤其是MEMS传感器,有望迎来在各领域的海量应用和高速发展。现阶段,物联网等新兴技术的发展,带动了MEMS传感器应用场景的多元化。基于物联网,传感器正加速向千行百业渗透、融合,消费电子、智能家居、汽车等新市场的到来都将为MEMS传感器产业带来广阔的市场空间。与传统的机械传感器相比,MEMS传感器具有体积小、集成化、智能化、低成本等优点,可以满足物联网时代对于传感器的要求。

  • 国内外生产MEMS传感器的厂商有哪些?

    MEMS传感器即微机电系统(Microelectro Mechanical Systems),是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展,已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术,具有广阔的应用前景。

  • 应用于智能手环设计和无人机控制的MEMS传感器有哪些?

    随着物联网技术的日益成熟,目前无人机的发展对物联网技术的应用越来越多,其中传感器技术发挥着非常重要的作用。加速度设计加速度计用于确定无人机的位置和姿态。就像Nintendo Wii控制器或iPhone屏幕位置一样,这些小型MEAS传感器在维持飞行控制方面发挥着关键作用,MEAS加速度计有多种方式来感知运动手势,其中一种技术能够感知微型集成电路的微小运动。

  • MEMS加速度计的应用原理是什么?具体介绍

    MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)加速度计就是使用MEMS技术制造的加速度计。由于采用了微机电系统技术,使得其尺寸大大缩小,一个MEMS加速度计只有指甲盖的几分之一大小。MEMS加速度计具有体积小、重量轻、能耗低等优点。加速度计是一种惯性传感器,能够测量物体的加速力。加速力就是当物体在加速过程中作用在物体上的力,就比如地球引力,也就是重力。加速力可以是个常量,比如g,也可以是变量。

  • MEMS是什么?具体有什么用?

    MEMS的全称是Micro- Electro Mechanical System,简称为微机电系统,是在芯片上将微机械与微电路包括集微型传感器、执行器、机械结构、电源能源、信号处理、控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等集成一体的微米/纳米级系统。通俗的说,MEMS工艺是通过微型传统机械系统的部件,采用半导体加工技术把微型机械系统与集成电路固定在硅晶圆上,接着按照应用场景的变化采用特殊定制的封装形式,最后经过切割组装形成硅基换能器。

  • MEMS传感器可以分成哪些应用类型?

    MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。它具有体积小、质量轻、成本低、功耗低、可靠性高、技术附加值高,适于批量化生产、易于集成和实现智能化等特点。MEMS传感器技术是指用微电子微机械加工出来的、用敏感元件如电容、

  • MEMS加速度计在方面都有哪些应用?起到什么作用?

    加速度计是一种惯性传感器,能够测量物体的加速力。加速力就是当物体在加速过程中作用在物体上的力,就比如地球引力,也就是重力。加速力可以是个常量,比如g,也可以是变量。MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)加速度计就是使用MEMS技术制造的加速度计。由于采用了微机电系统技术,使得其尺寸大大缩小,一个MEMS加速度计只有指甲盖的几分之一大小。MEMS加速度计具有体积小、重量轻、能耗低等优点。

  • 采用MEMS加速度计的设计方案有哪些?

    硅微加速度传感器是MEMS器件中的一个重要分支,具有十分广阔的应用前景。由于硅微加速度传感器具有响应快、灵敏度高、精度高、易于小型化等优点,而且 该种传感器在强辐射作用下能正常工作,使其近年来发展迅速。Mems的加速度计分为六大类:电容式加速度计;压阻式加速度计;压电式加速度计;谐振式加速度计;隧穿式加速度计;热对流式加速度计。

  • 重视科技发展,推动智慧城市平台落地!

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