euv极紫外光刻

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三星5nm芯片生产线开建：基于EUV极紫外光刻技术

据国外媒体报道，三星电子新的基于极紫外光刻(EUV)技术的5nm芯片生产线，已经开始建设，投资高达81亿美元，计划在明年下半年投入运营。

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2020-05-22

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直逼物理极限!三星进军5nm、4nm、3nm工艺

在美国举行的三星工艺论坛SFF 2018 USA之上，三星更是宣布将连续进军5nm、4nm、3nm工艺，直逼物理极限!

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2018-05-24

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