延续摩尔定律，台积电2nm芯片工艺获重大突破
2024年到2025年，台积电的主要产能将集中在台南科学园区
步步紧逼！三星完成5nm工艺开发，台积电这口气松不得
芯片工艺竞争不断升级 这场“战争”会结束吗?
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《芯片制造 半导体工艺制程实用教程》 第5版
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