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微机电系统(MEMS)陀螺仪是一种在微米级别的尺度上集成电机和电子设备的装置,能够测量或保持方向。这是通过对旋转运动的角速度进行检测和测量实现的。
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多年来,传感器早已融合到车辆的整体设计和制造中。一辆汽车现在可以有100个或更多的传感器,用于监测和控制某些驱动参数。电动汽车的公众接受度和自动驾驶汽车的未来发展很大程度上将依赖于这些传感器的超可靠性。在这些传感器中,MEMS传感器约占三分之一。
MEMS陀螺仪是第三代陀螺仪的代表,MEMS随着微机械电子系统(MEMS)等学科的兴起,又基于科里奥利振动效应和微纳加工技术,MEMS陀螺仪开始出现。ER-MG2-50/100作为MEMS陀螺仪中的高精度陀螺仪,具有体积小、重量轻、环境适应性强、价格低廉、便于批量生产等特点,解决了第一代和第二代陀螺仪体积质量大、成本高的缺点,精度和稳定性不断提高。
MEMS压力传感器是基于MEMS技术和半导体集成电路制造加工技术,以利用单晶硅硅片等传统半导体材料制作而成的芯片作为主要组成部分,将压强信号转化为电学信号的压力测量器件。MEMS压力传感器可以用类似集成电路(IC)设计技术和制造工艺,进行高精度、低成本的大批量生产,从而为消费电子和工业过程控制产品用低廉的成本大量使用MEMS传感器打开方便之门,使压力控制变得简单易用和智能化。
微机电系统(MEMS)陀螺仪是一种在微米级别的尺度上集成电机和电子设备的装置,能够测量或保持方向。这是通过对旋转运动的角速度进行检测和测量实现的。MEMS陀螺仪的工作原理基于科里奥利(Coriolis)效应。这是一个物理现象,在旋转参考系中,运动物体受到一种横向的力,称为科里奥利力。
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