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ADI发布3轴运动检测微机电系统
美国模拟器件公司(ADI)日前发布了3轴运动检测微机电系统(MEMS)技术。该3轴iMEMS(集成MEMS)Motion Signal Processing技术能将包含薄的、鲁棒性运动传感器和先进的信号调理电路的非常小的低功耗3轴(XYZ)加速度计集成在
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ADI公司通过推出3轴加速度计
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国产MEMS检波器研制成功
在国家科技部“863”项目“微机电系统”重大专项的支持下，中国科学院微系统所与南京石油物探研究所紧密合作，经过将近两年的努力，克服重重困难，研制成功以国产MEMS加速度计为核心的石油勘探地震检波器。试验人员把
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