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SMEE携支持PSS和电极工艺光刻机进军LED领域
致力于投影光刻机研发、生产、销售与服务的上海微电子装备有限公司(以下简称SMEE)，日前携SSB300系列LED步进投影光刻机亮相2014广州国际LED展。首台LED步进投影光刻机的推出，不仅满足了国内LED厂家对更高品质产品的
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上海市集成电路高端装备制造企业认定管理办法
为了加快培育战略性新兴产业，促进上海集成电路高端装备制造业的发展，按照《关于本市进一步鼓励软件产业和集成电路产业发展的若干政策》（沪府发〔2012〕26号）的规定，为落实《上海市软件和集成电路企业设计人员专
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以光为刃，镌刻中国产业的“光刻指纹”
本报记者 陈 磊 贾 婧 创新驱动发展 贺荣明清楚地记得，11年前，当大部分专家、领导问他，中国自主研发光刻机有决心吗？“有！”当时的回答并无一丝犹豫。“如今回想此事真有些后怕，那时候勇气胜过理智。”
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要有“中国芯”先要“中国造”
解决“中国芯”的问题必须要解决“中国制造”的问题。集成电路制造技术融合了40多种科学技术及工程领域多种交叉学科和尖端制造技术，对制造装备、精密机械、精密仪器、自动化、精细化工和新材料
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极紫外光刻2015年商用：目标10nm
全球最大的半导体制造设备供应商荷兰ASML今天重申，极紫外(EUV)光刻技术将在2015年如期投入商用，各大半导体厂商都在摩拳擦掌。ASML首席执行官兼总裁Peter Wennink公开表示：“NXE:3300B极紫外光刻扫描仪的整合
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上海微电子携SMEE 300系列光刻机进军LED产业
LED半导体照明网讯 致力于投影光刻机研发、生产、销售与服务的上海微电子装备有限公司(SHANGHAI Micro Electronic Equipment；SMEE)，日前在台参加半导体展，展出了用于封装以及LED产业光刻机设备。此次半导
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SSB500/20先进封装光刻机亮相SEMICON-China2013
2013年3月19日至3月21日，全球最大规模的半导体展会——SEMICONChina2013在上海新国际博览中心隆重举行。 上海微电子装备有限公司（以下简称SMEE）重点展示了面向IC先进封装、3D-TSV制造领域的SSB500/20型步进投影
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上海微电子先进封装光刻机获14届中国国际工业博览会金奖
上海微电子装备有限公司的先进封装光刻机在11月10日闭幕的第14届中国国际工业博览会上荣获金奖。这家企业研制的封装光刻机已经达到国际同等先进技术水平，累计申请发明专利180多项，国际发明专利5项。这家公司成立十
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中芯国际北京公司:向肉眼看不到的成本要效益
在中芯国际北京公司生产车间的一角，偌大的厂房里摆满了2人高的光刻机。据财报显示，9个月前，中芯国际还处于净亏损数千万元的状态，9个月后，公司的产能利用率却已从65%飙升至95%，实现了2012年二季度净利润约4500万
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中国集成电路产业寻求自主创新之路
我国每年进口额最大的单项商品是什么?是石油吗?不是。是铁矿石?更不是。是芯片!是集成电路芯片!我国每年进口的集成电路芯片价值高达1200亿美元。放眼世界，集成电路作为信息产业的基础和核心，是国民经济和社会发展的
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中国集成电路产业寻求自主创新之路
我国每年进口额最大的单项商品是什么?是石油吗?不是。是铁矿石?更不是。是芯片!是集成电路芯片!我国每年进口的集成电路芯片价值高达1200亿美元。放眼世界，集成电路作为信息产业的基础和核心，是国民经济和社会发展的
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IC装备专项支撑IC产业发展
“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”重大专项旨在开发集成电路关键制造装备，掌握具有自主知识产权的成套先进工艺及相关新材料技术，打破我国高端集成电路制造装备与工艺完全依赖进口的状况，带动相关产业的技术
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片内相位测量工具模拟光刻机
关键字：片内相位测量 模拟光刻机采用特殊照明方式的高/超高数值孔径（NA）的193nm光刻机和相位移掩膜版（PSM），使得光刻分辨率的极限达到了32nm节点。不利的因素是掩膜的复杂度正在以指数级递增，而业界又迫切需要
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Molecular Imprints 获提供先进光刻机和薄片图案形成服务的合约
Molecular Imprints 获提供先进光刻机和薄片图案形成服务的合约，为 G450c 计划提供支援 Molecular Imprints 获领先 IC 制造商授予首个450毫米光刻系统订单 德克萨斯州奥斯丁2011年11月18日电 /美通社亚洲/ — 奈米
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Molecular获提供先进光刻机和薄片图案形成服务的合约
-- Molecular Imprints 获提供先进光刻机和薄片图案形成服务的合约，为 G450c 计划提供支援 -- Molecular Imprints 获领先 IC 制造商授予首个450毫米光刻系统订单 德克萨斯州奥斯丁2011年11月18日电 /美通社亚
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日本人扬头赶上：尼康光刻机市场表现回勇
日本尼康公司曾经一度在高端光刻机市场上相比其对手荷兰ASML公司有所失宠，不过最近由于高端光刻机市场需求相当旺盛，尼康公司的光刻部门终于摆脱了两年以来一直赔本经营的局面。 由于市场对尼康193nm液浸式光刻工
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沉浸式光刻机供货紧缺 台系芯片厂制程升级受阻
据内存业者透露，由于著名光刻设备厂商ASML生产的NXT:1950i沉浸式光刻机目前供货十分紧缺，因此台系内存芯片厂商收到所订购的这种设备的时间 可能会再后延12个月之久，由于NXT:1950i沉浸式光刻机对这些厂商转移到38n
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沉浸式光刻机供货紧缺 台系内存芯片厂制程升级受阻
据内存业者透露，由于著名光刻设备厂商ASML生产的NXT:1950i沉浸式光刻机目前供货十分紧缺，因此台系内存芯片厂商收到所订购的这种设备的时间 可能会再后延12个月之久，由于NXT:1950i沉浸式光刻机对这些厂商转移到38n
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分析师称ASML应该对内存芯片供不应求负一定责任
对于内存厂商来说，已经过去的2009年就像是一场噩梦。而2010年情况则大有好转，可是今年内存厂商却遇上了芯片供货紧缺，芯片产品投产准备时间加长，产品价格居高不下的问题。在本周三举办的Memcon会议上，一位分析师
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分析师称ASML应该对内存芯片供不应求负一定责任
对于内存厂商来说，已经过去的2009年就像是一场噩梦。而2010年情况则大有好转，可是今年内存厂商却遇上了芯片供货紧缺，芯片产品投产准备时间加长，产品价格居高不下的问题。在本周三举办的Memcon会议上，一位分析师
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