极紫外光刻(Extreme Ultra-violet),常常被称作EUV光刻。光刻机决定着半导体工艺的制程工艺,7nm以及以上的工艺离不开EUV光刻机,EUV光刻技术使晶体管密度和性能都变得更好。因而EUV光刻机成为众多半导体厂商的心头之好。
台积电上周发布了3月及Q1季度财报,营收同比大涨了42%,淡季不淡。不过接下来的日子半导体行业可能不太好过了,ASML的EUV光刻机已经断货,要延期交付,好在台积电今年已经在5nm工艺上抢先三星了。
光刻机是半导体生产制造流程中的核心设备,由于技术复杂、厂商垄断,导致其价格昂贵。 最近,光刻机全球领导厂商荷兰ASML发布最新报告,今年一季度,ASML共获得了73 台光刻机订单,其中 11 台是极紫外EUV光刻机。 据介绍,这73 台光刻机订单金额高达 30.85 亿
目前上市的5G处理器还是7nm的,前不久紫光展锐发布了虎贲T7520,全球首发6nm EUV工艺,展锐表示没有2亿美元就别想做6nm芯片。 虎贲T7520则是基于马卡鲁2.0平台,单芯片集成5G基带。
在EUV光刻机方面,荷兰ASML(阿斯麦)公司垄断了目前的EUV光刻机,去年出货26台,创造了新纪录。据报道,ASML公司正在研发新一代EUV光刻机,预计在2022年开始出货。 根据ASML之前的报告
作为全球晶圆代工厂的一哥,TSMC台积电今年在先进制程上的优势还会进一步加强,除了7nm供不应求之外,6nm及5nm工艺也会量产,以满足苹果、华为、高通等大客户需求。 为此台积电2020年的资本开支再
半导体工艺的进步一直备受关注,尤其是国产半导体技术差距依然很大,每一步都走得很艰难,每一步都令人鼓舞。 日前,韩国媒体报道称,国内最大代工厂中芯国际的董事长周子学博士在韩国访问期间透露,已经与荷兰光刻
今天闹得沸沸扬扬的ASML光刻机对中国厂商断供一事,ASML公司官方也发表了声明,否认了延迟出货、断供等说法,称媒体报道有误,ASML对全球客户是一视同仁的。 这次外媒报道来源于日本的日经新闻独家新闻
半导体制造过程中最复杂也是最难的步骤就是光刻,光刻机也因此成为最重要的半导体制造设备。在7nm制程的较量中,台积电之所以能够领先,一个很重要的原因就是EUV技术,在半导体制造的工艺中,这部分的成本就能
2019年6月6日,华虹无锡集成电路研发和制造基地(一期)12 英寸生产线建设项目首批三台光刻机搬入仪式举行。光刻设备的搬入标志着华虹无锡基地项目建设进入新的里程,整个项目也随即达到新高度。
晶圆制造产业进入7纳米制程之后,目前全世界仅剩台积电与三星,再加上号称自家10纳米制程优于竞争对手7纳米制程的英特尔等,有继续开发能力之外,其他竞争者因须耗费大量金钱与人力物力的情况下,都已宣布放弃。
在先进制程纳米节点持续微缩下,光刻机是重要关键设备。12寸晶圆主要光刻机为ArF immersion机台,可覆盖45nm一路往下到7nm节点的使用范围,其雷射光波长最小微缩到193nm;针对7nm节点以下的制程,EUV(Extreme Ultra-Violet)极紫外光使用光源波长为13.5nm,确保先进制程持续发展的可能性。
当时,英特尔投资了41亿美元,交易有效期为5年,英特尔将拥有ASML 15%的股份,同时为ASML的研发项目投资33亿美元。
尽管UMC(联电)和Globalfoundries(格芯)先后宣布放弃7nm制程及更先进工艺的研发,但ASML依然对EUV光刻机的前景表示乐观。
近日消息,中国最大的晶圆代工厂中芯国际已经向荷兰半导体设备制造商ASML订购了一台EUV设备,EUV是当前半导体产业中最先进也最昂贵的芯片制造设备,这台设备价值1.2亿美元,差不多花费了中芯一季度营收的14%。EUV对于
《巴伦》报导,芯片设备供应商艾司摩尔ASML的表现,可能要比大多数人想像的要好,瑞士信贷分析师Farhan Ahmad即认为,艾司摩尔的产品是芯片制造商台积电与竞争对手三星电子( 005930-KR )争夺霸主地位的关键要素,估计可以在鹬蚌相争中,渔翁得利。
ASML的量产型EUV光刻机在TSMC现场初试时出现失误。在2014年加州SanJose举行的先进光刻技术会议上TSMC演讲中透露此消息,由于EUV光源内的激光机械部分出现异位导致光源破裂。因此EUV光刻机停摆。TSMC的下一代光刻部经理
ASML的量产型EUV光刻机在TSMC现场初试时出现失误。在2014年加州SanJose举行的先进光刻技术会议上TSMC演讲中透露此消息,由于EUV光源内的激光机械部分出现异位导致光源破裂。因此EUV光刻机停摆。TSMC的下一代光刻部经
台湾积体电路制造股份有限公司(“台积电”)即将在两周后启动首台EUV光刻机。这表示台积电的下一步将是评估用于生产下一代芯片的三种光刻机。台积电纳米成像部副总裁林本坚表示:“台积电是唯一一家