MEMS

MEMS硅膜电容式气象压力传感器的研制

本文研制了一种高性能、低成本的微型电容气象压力传感器，整个流程工艺简单标准，薄膜材料选择单晶硅，采用接触式结构，利用阳极键合形成真空腔，最后由KOH各向异性腐蚀和深刻蚀形成硅薄膜。试验结果表明，该传感器适用于气象压力测量。

Epcos收购NXP的RF MEMS业务

德国无源器件供应商Epcos AG宣布收购恩智浦半导体(NXP Semiconductors)的RF MEMS业务。Epcos希望通过此举进入一个规模达300万欧元的市场。 Epcos在新闻稿中表示，RF MEMS可以帮助把手机的功耗最多降低25%。

FrostSullivan：MEMS测试设备急需低成本、标准化

市场研究机构Frost & Sullivan公司最新报告称，目前MEMS测试设备价格高昂，低成本标准化成迫切需求。报告称，2007年全球MEMS测试设备市场额为5650万美元，而到2014年将增长到1.202亿美元。目前MEMS器件制造商必须面对

基于ARM与MEMS器件的微惯性测量装置设计

开发一种生物运动微惯性测量装置，以基于ARM7的LPC2129为核心处理单元，采用MEMS陀螺和MEMS加速度计为测量传感器。

基于ARM与MEMS器件的微惯性测量装置设计

基于ARM与MEMS器件的微惯性测量装置设计

高通大举进军手机显示屏领域

专业芯片厂商高通（Quanlcomm）最近对手机显示屏领域表现出浓厚兴趣，认为这是除手机芯片之外的另一个业务增长点。高通发明了可用于手持设备的MEMS显示屏。MEMS的优点在于既能显著降低掌上设备显示屏的功耗，又能提高

飞思卡尔建成先进的200-mm MEMS生产线

华飞微电子：国产高档光刻胶的先行者

光刻胶是集成电路中实现芯片图形转移的关键基础化学材料，在光刻胶的高端领域，技术一直为美国、日本厂商等所垄断;近年来，本土光刻胶供应商开始涉足高档光刻胶的研发与生产，苏州华飞微电子材料有限公司就是其中一家

MEMS振荡器101(图)

WTC：RF MEMS开关市场将呈现爆炸性增长

RFMD MEMS技术将在RF应用中实现突破性整合

日前，RF">RF Micro Devices(RF">RFMD">RFMD)宣布推出专有微机电系统 (MEMS) - 面向 RF 及其他应用的技术。RFMD 期望其专有的 MEMS 技术将在 RF 及其他应用中实现突破性的性能及空前水平的功能整合。RFMD 推出的第一