ASML日前宣布,其2010年Q2净销售达到1,069million欧元,净收入为239million欧元,Q2的净订单价值1,179million欧元,包括了48套新系统及11套二手系统。各项数据均较2010年Q1有所提高。ASML总裁兼CEOEricMeurice认为,
在最近的SemiCon West产业会议上, Global Foundries公司对外宣布,将会在15nm制程时开始启用EUV极紫外光刻技术制造半导体芯片。Global Foundries公司高级副总裁Greg Bartlett表示,在纽约Fab 8工厂建成之后的2012
在最近召开的SemiCon West产业会议上, Global Foundries 公司宣布他们将在15nm制程节点开始启用EUV极紫外光刻技术制造半导体芯片。 Global Foundries 公司负责制程技术研发的高级副总裁Greg Bartlett还表示,公司将
ASML日前宣布,其2010年Q2净销售达到1,069 million欧元,净收入为239 million 欧元,Q2的净订单价值1,179 million 欧元,包括了48套新系统及11套二手系统。各项数据均较2010年Q1有所提高。ASML总裁兼CEO Eric Meuric
随着IC组件微缩、制程进入28奈米以下,半导体业者若能掌握微影技术主控权,就等于卡位先进制程领导地位,台积电未来研发重点放在28奈米以下,尤其为力拼20奈米制程,全力备妥战斗武器,台积电研究发展资深副总经理蒋
新一代半导体曝光工艺将如何发展?在SEMI日本主办的“SEMI Forum Japan 2010”(5月31日~6月1日,大阪国际会议中心)上,器件厂商和曝光装置厂商先后发表演讲,从中便可窥探出EUV(Extreme Ultraviolet)曝光在半导
光刻技术正处在十字路口并可能是在向错误的方向发展。光刻是支撑摩尔定律所阐明的IC工艺不断缩微的关键生产技术。当前的技术仍然可行,而且其寿命已远远超出了所有人的预期,所以将在不久的将来失去动力。其后继技术
东芝成功形成了14nm半间距(HP,Half Pitch)图案的照片在“Photomask Japan 2010”(4月13日~15日在太平洋横滨会展中心举行)的海报展上公开。系采用现有的EUV装置,以双重图形制作工艺试制而成。 东芝的相关人
瑞士Eulitha AG强调“用EUV(extreme ultraviolet)光刻技术制造”的纳米压印用模具,在“nano tech 2010(国际纳米科技综合展,2月17~19日)”上展出。在2mm×0.5mm的转印区内形成了最小17nm的网点、最小半间距(h
英特尔的先进光刻和制造部的Yan Borodovsky表明,英特尔希望EUV或者无掩模电子束光刻能作为193纳米浸入式光刻在11纳米的后补者,并声称11纳米可能发生在2015年。Borodovsky表示193nm浸入式光刻技术可能延伸到分别在201
在本月21日举办的LithoVision2010大会上,Intel公司公布了其未来几年的光刻技术发展计划,按这份惊人的计划显示,Intel计划将 193nm波长沉浸式光刻技术延用至11nm制程节点,这表明他们再次后延了其极紫外光刻(EUV)技
台积电(2330)昨(22)日宣布,将取得艾司摩尔(ASML)超紫外光 (Extreme Ultra-violet,EUV)微影设备,将使得台积在22奈米以下的最先进制程领先全球。 台积电目前40奈米拥有90%以上高市占率,今 将举行一年一度
台积电(2330)与微影设备大厂荷商艾司摩尔(ASML)昨(22)日共同宣布,台积电将取得ASML的TWINSCAN NXE:3100极紫外光(Extreme Ultra-Violet,EUV)微影设备。这是台积电在布局多重电子束的无光罩(maskless)、双
现在不用再期待了,根据IC insights公司的数据,看起来两个两个正在显现的重要的IC制造技术都将延迟,包括450mm晶圆和远紫外(EUV)光刻技术。 根据分析,450mm晶圆厂量产可能要比预期的时间晚两年,要等到2015年或2
半导体技术市场权威分析公司ICInsights近日发布的报告显示,按照他们的估计,450mm技术以及极紫外光刻技术(EUV)投入实用的时间点将再度后延。据ICInsights预计,基于450mm技术的芯片厂需要到2015-2016年左右才有望
半导体技术市场权威分析公司IC Insights近日发布的报告显示,按照他们的估计,450mm技术以及极紫外光刻技术(EUV)投入实用的时间点将再度后延。据IC Insights预计,基于450mm技术的芯片厂需要到2015-2016年左右才有望
半导体技术市场权威分析公司IC Insights近日发布的报告显示,按照他们的估计,450mm技术以及极紫外光刻技术(EUV)投入实用的时间点将再度后延。据IC Insights预计,基于450mm技术的芯片厂需要到2015-2016年左右才有
在美国KLA-Tencor于12月3日主办的“第17届YMS研讨会”上,KLA-Tencor Japan公开了有关EUV掩模检查的战略。 在本届研讨会上,KLA-Tencor Japan的长冈根据KLA-Tencor在10月于捷克布拉格举行的“2009 International
32nm离我们还有多远?技术难点该如何突破?材料与设备要扮演何种角色?10月28日于北京举办的先进半导体技术研讨会即围绕“32nm技术发展与挑战”这一主题进行了探讨。32nm节点挑战无限“45nm已进入量产,32nm甚至更小